產(chǎn)品特點：

1.      5寸彩色觸摸屏操作界面，采用45°傾斜角度設(shè)計，符合人體工程學(xué)，操作簡單友好。

2.      PLC自動監(jiān)測控制工藝參數(shù)，參數(shù)可存儲，手動、自動兩種模式任意切換。

3.      艙門，流量計內(nèi)凹式設(shè)計，防止不小心磕碰損壞，更大氣美觀。

4.      松下高精度數(shù)字真空壓力表，實時檢測顯示艙體內(nèi)真實真空度，提供論文真實數(shù)據(jù)。

5.      氣體浮子流量計（可選質(zhì)量流量計（MFC）），可對多種氣體精準控制。

6.      不銹鋼或石英真空艙體可選，艙體管路采用耐腐蝕材料。

7.      進氣端口，氣體返填端口均配有HEPA高效過濾器，有效過濾空氣中污染顆粒及水分。

8.      真空泵配有油霧過濾器，可有效隔絕油氣溢散，保護實驗環(huán)境。

9.      使用成本低，無需進行特殊維護，日常使用中保持儀器清潔即可。

10.    具備優(yōu)良的安全保護措施，射頻模塊溫度異常升高時，自動關(guān)閉電源，保護樣品，提高設(shè)備安全性和穩(wěn)定性。

等離子清洗機應(yīng)用領(lǐng)域，納米材料學(xué)，半導(dǎo)體，微電子，光學(xué)，電子學(xué)，微流控生物學(xué)，石墨烯，再造醫(yī)學(xué)等領(lǐng)域

技術(shù)參數(shù)